準(zhǔn)分子激光(英文:Excimer laser)是一種紫外氣態(tài)激光,處于激發(fā)態(tài)的稀有氣體和另一種氣體(稀有氣體或鹵素)結(jié)合的混合氣體形成的分子,向其基態(tài)躍遷時(shí)發(fā)射所產(chǎn)生的激光,稱為準(zhǔn)分子激光。
目前準(zhǔn)分子激光已廣泛應(yīng)用在臨床醫(yī)學(xué)以及科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用方面,如:鉆孔、標(biāo)記表面處理、激光化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、磁頭與光學(xué)鏡片、硅晶圓的清潔、微機(jī)電系統(tǒng)相關(guān)的微制造技術(shù)等等。



準(zhǔn)分子以激發(fā)態(tài)形式存在,沈陽準(zhǔn)分子預(yù)混氣,壽命很短,僅有10^(-8)S量級(jí),基態(tài)為10^(-13)S量級(jí),躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)(或弱束縛)之間,準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng),其熒為一連續(xù)帶。由于其熒光譜為一連續(xù)帶,故可以實(shí)現(xiàn)波長可調(diào)諧運(yùn)轉(zhuǎn)。由于激光躍遷的下能級(jí)(基態(tài))的離子迅速離解,激光下能級(jí)基本為空的,極易實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),準(zhǔn)分子預(yù)混氣價(jià)格,因此量子效率很高,接近100%,且可以高重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)。



準(zhǔn)分子激光器發(fā)展面臨的主要任務(wù)是提高輸出能量(或者,在激光核聚變的情況是提高峰值功率)和改進(jìn)光束質(zhì)量。新近為了達(dá)到這些目標(biāo)而發(fā)展的一個(gè)方法是使用X光預(yù)電離拉長放電激勵(lì)脈沖寬度。對(duì)于需要較短脈寬的核聚變,正在設(shè)計(jì)壓縮脈寬的幾種新技術(shù)。對(duì)其他應(yīng)用,則通過在準(zhǔn)分子激光介質(zhì)中放大倍頻和三倍頻染料激光達(dá)到紫外窄帶寬高能輸出。 歷史 自從1975年發(fā)現(xiàn)稀有氣體鹵化物準(zhǔn)分子激光器以來,它已經(jīng)成為在特定紫外波長上產(chǎn)生高功率輻射的主要激光器。



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